Elektrónový mikroanalyzátor – Electron Probe Microanalyzer (EPMA) slúži na nedeštruktívnu chemickú analýzu veľmi malých objemov pevných látok. Umožňuje charakteristiku povrchu, plošnej variability v chemickom zložení a skúmanie vnútornej stavby vzoriek. Vlnovú dĺžku excitovaného rtg žiarenia a jeho intenzitu využíva vlnovo-disperzný systém (WDS) na analyzovanie. Leštené výbrusy alebo nábrusy musia mať elektricky vodivý povrch. Na vákuové naparenie tenkej uhlíkovej vrstvy používame naparovačku JEOL JEE-420T. Laboratórium je vybavené elektrónovým mikroanalyzátorom JEOL JXA 8530F (Field Emission Electron Probe Microanalyzer). Na rozdiel od mikrosond s konvenčnými emitormi z W vlákna, na emisiu elektrónov prístroj používa Schottkyho field emmision katódu (FEG). Hlavné výhody: extrémna stabilita emisného prúdu, nižšie urýchľovacie napätia potrebné na excitáciu elektrónov (menšia deštrukcia vzorky), nízke vzorkové prúdy. Prístroj je vybavený piatimi WDS spektrometrami, každý obsahuje po dva kryštály (TAPJ 2x, LIFL, LIFH, LIF, PET, PETJ, PETH, LDE1, LDE2). Analyzovať môžeme takmer všetky prvky od berýlia po urán. LDE kryštál umožňuje analýzu ľahkých prvkov (napr. N, F, atď).
Prístroj je vybavený aj EDS spektrometrom SDD (silicon drift detector) s rozlíšením 133eV, ktorý umožňuje rýchle zorientovanie pred samotným analyzovaním. Taktiež obsahuje optický mikroskop (odrazené svetlo, koaxiálny s el. mikroanalyzátorom).
Pre rýchlu orientáciu po vzorke slúži skener so softvérom Specimen Navigator. Na prístroji môžeme detekovať aj panchromatickú katódoluminscenciu.
Celý systém funguje pod OS Windows XP Professional. Súčasťou je aj softvér Monazite Age na datovanie monazitu príp. iných minerálov skupiny monazitu pomocou chemickej Th, U-Pb izochrónovej metódy – CHIME.