Mikro-XRF spektrometria je nedeštruktívna metóda určená na semikvantitatívne stanovenie prvkov vo vzorke s vysokou citlivosťou obsvlášť pre ťažšie prvky. Prístroj M4 TORNADO (Bruker) je určený na bodovú analýzu prvkov, analýzu v líniových profiloch a rastroch, kedy je výsledkom plošná distribúcia prvkov. Rozsah analyzovaných prvkov je Na-U.
Vzorky: homogénne aj nehomogénne pevné vzorky bez pokovenia, vzorky s nepravidelným tvarom, hrubým povrchom, práškové vzorky, kvapaliny. Pre líniové profilovanie a plošné mapovanie chemického zloženia sú potrebné vzorky s rovným hladkým povrchom (napr. vrtné jadrá).
Princíp metódy: vzorka je excitovaná RTG-žiarením, ktoré ionizuje K a L elektrónové vrstvy. Pri ich spätnom obsadzovaní elektónmi z vyšších vrstiev sa vyžiari sekundárne RTG-žiarenie, ktorého spektrum je charakteristické pre každý prvok a z jeho intenzity je vypočítaná koncentrácia prvku.
Technické parametre zariadenia:
- fokusácia polykapilárnou optikou na lúč priemeru 25 µm, interakčná hĺbka 10-1000 µm.
- širokouhlá kamera a dva koaxiálne digitálne mikroskopy 10 a 100x pre ľahké vyhľadávanie skúmaného miesta vo vzorke. Mozaikové skenovanie je výhodou pri meraní veľkých objektov.
- rtg trubica s Rh terčom, excitácia max. 50kV/600 µA, 5 filtrov.
- detektor SDD (Silicon Drift Detector) s rozlíšením 145 eV a aktívnou plochou 30 mm2
- motorizovaný X-Y-Z stolík s max. nosnosťou 5kg a pojazdom 200x150x120mm
- možnosť analyzovať vo vákuu alebo pri atmosférickom tlaku
- bezštandardová kvantifikácia modelovaním fundamentálnych parametrov